ISO 14644-1 2015 标准中对在线尘埃粒子监测系统要求的原文内容

　　尘埃粒子检测系统

　　在设置实时粒子计数系统时，应当考虑 A.4.2 到 A.4.6 中描述的项目。

　　实时粒子计数系统的配置应当参考以下几点因素：

　　— 尘埃粒子收集效率

　　— 对于选定粒径的适应性

　　— 便于维护，校验和维修

　　注释 1 这些考量可能会影响是否选择多个尘埃粒子计数器还是选择一个几个计数器配有多个取样管路的系统。

　　注释 2 对于检测粒径大于 5 微米的粒子，选择多取样管的单一计数器系统是不适宜的。

　　取样气体流速和体积。

　　每个空气样品的频率和持续时间(由取样率决定)

　　取样探头的配置和方向应当与空气流向有关(例如，等速取样管或非等速取样管)

　　注释 在非单向流的环境中，将取样探头直接置于高效空气过滤器(HEPA)下是不合适的，因为该点不能够代表洁净室或洁净区的整体水平，并且可能会阻止其探测到污染事件的发生。

　　取样系统对工艺或环境的潜在负面影响(例如在较小的空间内，取样时对其环境的影响)