为什么我需要监视洁净室的状态?洁净室为什么要进行实时在线尘埃粒子监测?

　　为什么我需要监视洁净室的状态?洁净室为什么要进行实时在线尘埃粒子监测?

　　有两个主要的原因，你会监视你的洁净室。一个是验证您的过程环境是否在所需的规格下执行。另一种是记录过程环境的历史数据。洁净室是根据要生产的产品的具体要求而建造的。污染对这些产品的产量和质量有负面影响。洁净室环境非常活跃，产品和人员在不断变化，因此污染事件随时可能发生。通过监测，您可以随时了解环境何时不安全地生成产品。回顾历史数据的能力是一个非常有价值的工具。趋势图和事件记录可以帮助定义设备和清洁的维护周期。此外，参考这些数据后，死后分析就会简化。这些报告将作为可用于向客户，政府组织和监管委员会提供支持数据的记录。

　　我不能每天只雇一些人到每个房间去衡量每个地区的清洁程度吗?

　　从历史上看，大多数公司都是以这种方式开始的，但是公司了解到，确定房间中的粒子水平并不像一次读取那么简单。无论产品暴露在何处，整个洁净室内的多个位置都必须测量微粒级别。在HEPA或ULPA过滤器附近进行测量的情况下，可能会显示出较低的颗粒水平，但在产品水平上，工作表面的颗粒水平可能不合格，导致产品缺陷并降低产量。洁净室过程是动态的。粒子脱落事件很难预测，并且可以在一天中随机发生。以持续的自动化的方式监视这个环境将有助于在这些类型的问题失控或影响生产之前发现这些问题。价值数百万美元的产品可以每天通过洁净室，具体取决于设施的类型。发现污染问题迟到一两天可能是一个昂贵的和/或灾难性的情况。在大多数情况下，污染监测设备和系统的投资回报(ROI)可以在前几个检测到的事件中实现。

　　我怎样才能有效地监控我的洁净室?

　　首先，您必须确定产品和流程的风险。另外，您需要了解洁净室的设计意图。这是必要的，因为您想为应用程序选择合适的仪器。10000级(ISO 7级)洁净室将不会被有效监测0.1微米。使用0.3或0.5粒子计数器将是更好的选择。

　　确定关键位置(污染可能影响产品或大量产品的位置)

　　确定繁忙的地点(产品移动或正在制造的地点)。

　　在运行状态下对无尘室微粒数据进行评估。在操作状态下收集数据(制造过程实际发生时)对于确定您处于风险中的位置非常重要。

　　当达到和/或超过控制极限时，污染监测系统将能够跟踪，记录和报警。

　　我需要监测什么尺寸的颗粒?

　　这是由您的产品或您的过程决定的。覆盖率和预算等其他因素也在起作用。可能影响您的产品或更小的最小尺寸的颗粒是一个很好的起点。但是，整个过程的预算和覆盖面也必须考虑在内。记住一个重要的因素。粒子脱落事件发生在一个以上的粒度。在0.1微米或更低的分辨率的洁净室中有一个粒子传感器，而在同一洁净室中有十个具有0.3微米分辨率的粒子传感器可能不是一个更好的情况。你必须看看发生了什么，风险是什么。有时，许多较不敏感的传感器比几个或更敏感的传感器中的一个更好。

　　我如何确定在洁净室中需要监测的空气颗粒样点的数量，以及我应该在哪里找到它们?

　　监测点的位置和数量主要取决于产品和生产过程的要求，以及如何理解系统的使用。

　　我如何证明自动监测系统的费用是合理的?

　　为什么我不能使用我的楼宇自动化或设施控制系统来监控我的洁净室?

　　我们的许多客户已经提出了这个问题，从技术的角度来看，这是可能的。没有完全集成到环境控制系统有几个原因。控制系统的主要责任是保持设施在一组给定的参数之间运行。控制范围内的数据通常不会被记录。设施组的主要职责是通过维护和修理公用设施，使设施在设定点内运行。污染监测更多地是质量，工程或污染控制组的主要功能。传感点放置与数据不同的意图。

　　我们通常会将LMS系统集成到环境控制系统中，实际上我们鼓励客户这样做。将这些数据(单向或双向)集成到BCS或从BCS集成将增加两个系统上的监控点数量，从而让客户更好地了解受控环境中的情况。

　　控制系统和监控系统有什么区别?

　　这些系统之间的主要区别在于它们所服务的体系结构和原则。楼宇控制系统是根据设施的关键参数进行设计和安装的。安装该系统的传感器并提供反馈，以便自动补偿超出规定的事件。监控系统适用于监控信息的过程和产品水平。这两个系统在一般环境中可能会有一些重叠，但这两者对于调整您的过程是非常必要的。如果没有监控的过程级别，由于人员或设备的影响，您将无法检测到过程环境的变化。

　　何时何地应该使用基于离散的粒子计数器系统与歧管类型?

　　两个系统都有它们的地位和用处。基于离散的或远程的粒子计数器系统可以提供很高的分辨率而不会丢失任 每点的成本比歧管系统更昂贵，但有更好的机会捕捉间歇性的粒子偏移。多管采样系统的成本效益要高得多，但是由于在歧管上旋转一整圈所花费的时间，牺牲了分辨率。您添加到歧管的歧管点越多，完成一个循环所用的时间就越长，并且可能在抽样其他位置时错过事件。

　　在评估您的过程以确定是否应使用离散传感器或歧管系统时，请考虑以下事项：

　　你想要监控多少点?

　　你的预算是多少?

　　在那个地方没有信息的时间最长的是什么?

　　您关心的工具是否有周期时间?(自动化，过程或清洁周期)

　　这是你的过程中的关键位置?

　　这个地方有相当多的产品量吗?

　　你有什么资料要报告给谁?

　　简而言之，如果一个完整的采样周期的最大时间超过了您的最大持续时间，您可以从一个点没有数据，您应该尝试使用该位置的离散传感器。在许多情况下，灯塔将推荐混合系统，或同时使用多种系统和独立系统。用于非关键或较小关键位置的歧管系统，以及用于该关键部分的离散传感器。这将使优秀的覆盖面和数据，仍然是成本效益。

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