净化器外的空气渗入是影响洁净度的一个重要原因

1. 单向流动洁净室中的空气流动分析

（1）应用周期短. 单向气流的换气频率为300〜400次/小时，空调系统一般采用两种回风方式. 空气处理单元（AHU）与洁净室之间有一定距离时. 航空运输的能源消耗非常大. 如果可以在洁净室中循环使用（短周期），则可以大大降低能耗. 表27.8-1说明了两者之间的区别.

（2）显热盘管的应用. 由于该想法的工业洁净室中的负荷主要是显热，即热湿比为+∞，因此在进行新鲜的大规模除湿后，可以将其与显热冷却盘管的室内空气混合. 空气集中处理. 以此方式，为了处理大量的循环空气，可以使用具有较高水温的冷水，而通过低温除湿盘管处理少量的新鲜空气，这在经济上是有利的. 表27.8-2中列出的两种方法用于此处理，即在末尾混合新风和回风，在显热盘管之前混合新风和回风. 总冷却负荷没有差别.

2. 洁净室和空调的各种组合

（1）空调系统和局部净化装置的组合如表27.8-3所示. 在本地净化设备的控制范围内，通常可以达到5级. 在表中，I表示不带外壳的局部清洁区域，II表示带可移动外壳的清洁区域，III表示操作固定透明外壳的区域. 可以从原始的非单向流动洁净室转换以上三个局部洁净区域.

（2）非单向流动洁净室和空调系统的组合如表27.8-4所示. 通常，可以达到6至8的清洁度. 我是两次回风模式；对于需要24小时运行的无尘室，可以通过变频控制风扇，以适应夜间的负载和正压. II适用于多个系统的集中新鲜空气处理.

（3）单向流动洁净室和空调的组合如表27.8-5所示. 在表中，我是单风扇全风量运行模式（两次回风）；二是短循环模式； III / IV是使用空调单元的无尘室空调方法. 表中的方法最适合于小型单人洁净室. 以下示例介绍了大规模单向流清洗.

（4）清洁隧道方法，在微电子工业中，出于经济考虑，结合工艺特征，已经形成了一种特征性的纯化方法，成为清洁隧道. 图27.8-1显示了减少洁净空间和空调供气系统的过程根据进化过程，这种从模式I引导III的方式可以将集中式机房的空气供应减少到5％，并将风扇功率减少到50 ％. 设备成本降低了60％.

随着超大规模集成电路制造的发展，过程自动化程度日益提高. 它不一定需要在大型工厂建筑物中进行高层净化，而是创建了一个与过程密切相关的微环境控制设备. 该设备实现了高级净化环境.

3. 净化空调系统分部

纯净空调系统的风量大于普通空调系统的风量，因此应根据建筑空间等的布局合理划分，以使风道交叉. 截面和传输长度不应太大. 此外，还应根据以下原则考虑系统的划分；

（1）单向流系统应与非单向流分开. 这是由于净化水平不同而导致的空气处理和控制方法的差异.

（2）应分别设置三级过滤和净化系统和一般的空调系统（或两级过滤和净化系统）.

（3）温度和湿度精度差异较大的系统应单独设置.

（4）具有不同操作班次和操作规则的系统应分别设置.

（5）具有不同新鲜空气比例的系统应分别设置.

（6）产生有毒，有害，易燃和易爆材料的系统应与一般系统分开设置.

4. 洁净室的正压控制

洁净室外部的空气渗透是污染干扰洁净室清洁度的重要原因之一. 因此，必须给报纸一定的压力差. 洁净室与洁净度不同的洁净区域和非洁净区域之间的压力差应大于或等于5pa，洁净区域与室外之间的压力差应大于或等于10pa. 相反，该过程产生大量粉尘. 在有毒，易燃易爆物质的加工区域中，手术室与其他室之间应保持相对负压.

由于净化空调系统中过滤器阻力的变化以及排气柜的排气可能在室内，因此必须采取相应的措施和控制以保持一定的正压. 残留压力阀，回风口的阻尼层以及回风阀的手动或自动控制通常用于维持室内的正压. 对于一般的空调房间，保持室内正压的流出空气量与每个空气量L渗透之间的关系为L渗透（正压）= L send-L return-L局部排放. 正压穿透风量可以根据房间结构的密封性能（一定压差下每米间隙的风量）来确定，一般可以根据房间通风频率2-6次/ h来取. 但是，由于无尘室的严格结构和对正压的严格要求，使用残压阀或差压式电动风门控制阀更加可靠.

用新鲜空气量控制新鲜空气量的原理. 对于多房间系统，根据每个房间的压力要求，使用微电脑控制.