远程尘埃粒子在线监测系统的选择

    集成电路加工制造业是必须在一个洁净自然环境中开展的，它是应用超纯原材料开展超细致生产加工的制造行业。集成电路生产制造对净化室自然环境的操纵有严苛的规定，不一样的加工工艺对洁净度有不一样的规定。尘埃粒子在线监测系统

    半导体材料集成电路在加工过程中会触碰到许多 空气污染物，例如无机正离子、有机化学化学物质、微生物菌种、汽体残渣这些。此外，理论来讲，不适度的溫度、环境湿度、阳光照射、静电感应超标准、电磁感应噪音、空气噪音和微震动也是独特的空气污染物。

    在其中，当颗粒物残渣、无机正离子、有机化学化学物质、微生物菌种和汽体残渣的成分超出一定程度时，集成电路商品会出現表层刮伤、图型破裂、短路故障、针眼、蜕皮等状况。造成电路泄露和出现异常电气设备特点，轻则危害电路特性和使用期，重则造成电路损毁。

    一般 ，环境污染造成的电路商品返修率将会达到60％。简而言之，集成电路集成ic的产出率与集成ic的缺点相对密度相关，而缺点相对密度与空气中的颗粒数相关。因而，伴随着集成电路的快速发展趋势，不但对操纵空气中颗粒物的尺寸规定极高，并且对操纵颗粒物的总数也规定极高。另外，对集成电路工艺集成电路工作环境中净化车间新项目的有机化学环境污染操纵也是有有关规定。尘埃粒子在线监测系统

    由于这类状况，就必须应用远程控制空气浮尘粒子计数器来对半导体材料集成电路生产线的自然环境开展检测，确保商品工作环境做到清洁规范，针对空气浮尘粒子计数器的挑选，项目工程师提议应用英国ParticlesPlusInc．远程控制空气浮尘粒子计数器－5301，配备简易，可从一个仪器设备迁移到另一个仪器设备，便于清理和擦洗与最小的粒子圈套，智能安裝选择项，无缝拼接集成化到设备监控系统软件。